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超凈工作臺(tái)配套高效過濾器測試操作規(guī)程

1準(zhǔn)備工作

卸下高效過濾器的散流板，對(duì)箱體和框架的外表面進(jìn)行清潔，避免積塵對(duì)檢測產(chǎn)生干擾。

關(guān)閉潔凈室（區(qū)）的防火報(bào)警裝置，避免測試期間因煙霧泄漏造成誤會(huì)。

確定上游濃度驗(yàn)證孔。

準(zhǔn)備好惰性氣體的氣源（通常使用氮?dú)饣蛘邏嚎s空氣）。

高效過濾器的完整性測試文章參考：http://www.waimaolang-js.com/article/20120430224152.html

2氣溶膠煙霧的引入

    向4B氣溶膠發(fā)生器中加入適量PAO液體，連接氣源，找到風(fēng)機(jī)的吸風(fēng)口處，通過發(fā)煙管直接將氣溶膠通過吸風(fēng)口送到高效過濾器上游；打開發(fā)生器開關(guān)，打開氣源，氣源壓力調(diào)到20psig－30psig,調(diào)節(jié)氣溶膠煙霧的輸出量。

3　0基準(zhǔn)和100%基準(zhǔn)的設(shè)定

確認(rèn)光度計(jì)選擇閥處在CLEAR的位置。將電源開關(guān)設(shè)置到1（On）的位置，按ENTER鍵，設(shè)置零基準(zhǔn)線。

采樣管穿過驗(yàn)證孔，一端與上游（高效過濾器進(jìn)風(fēng)側(cè)）采樣口連接，另一端與氣溶膠光度計(jì)接通。光度計(jì)選擇閥撥到UPSTREAM位置，測定上游氣溶膠濃度。調(diào)節(jié)氣溶膠發(fā)生器輸出閥的開合度，直至確認(rèn)上游濃度達(dá)到20-80μg/L，并保持相對(duì)穩(wěn)定。按100鍵，然后按ENTER鍵，設(shè)定100%基準(zhǔn)。

100%基準(zhǔn)線成功設(shè)置之后，＜0＞指示燈將閃爍，表明0%基準(zhǔn)線必須進(jìn)行校正。將選擇閥設(shè)置到CLEAR，并按ENTER鍵，0%基準(zhǔn)線得到校正。

4光度計(jì)掃描

選擇閥轉(zhuǎn)向＜DOWNSTREAM＞，將矩形采樣頭與光度計(jì)連接，對(duì)被檢過濾器整個(gè)斷面、封膠頭和安裝框架間進(jìn)行掃描。掃描速率＝15÷掃描探頭垂直掃描方向的尺寸。

掃描時(shí)速度約2cm/s，掃描按直線來回往復(fù)地進(jìn)行，掃描的覆蓋面之間略有重疊。采樣探頭距過濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm。掃描應(yīng)遍及過濾器的整個(gè)出風(fēng)面、過濾器周邊、過濾器邊框與安裝架構(gòu)之間的密封處及安裝架構(gòu)的結(jié)合點(diǎn)。

任何等于或大于已指定限值的跡象時(shí)，都應(yīng)將掃描探頭在相應(yīng)位置持續(xù)相當(dāng)時(shí)間，憑借該位置較長時(shí)間內(nèi)顯示的最大值做出判斷。

原始記錄上畫出示意圖，標(biāo)明泄漏位置和最大泄漏值。

注意：掃描過程中避免箱體上的積灰干擾，采樣頭不能碰到高效風(fēng)口箱體或過濾器的框架。

在掃描工作中間及最后，核查上游氣溶膠濃度，以確定其穩(wěn)定性。當(dāng)上游氣溶膠濃度變化超過±15%時(shí)，重新設(shè)定100%基準(zhǔn)，并追溯檢查。